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| 本厂生产匀胶机的性能 |
- 匀胶机主机机箱采用不锈钢材料（抗化学腐蚀易清洁）
- 匀胶机旋涂程序：最多可存21组程序，每组51步，每个步骤可精确到0.1秒
- 匀胶机转动速度：0-10,000rpm(可选更高速)
- 匀胶机旋涂加速度：0-50,000rpm/sec（空载）
- 匀胶机马达旋涂转速稳定性能误差 < ±1%
- 匀胶机转速调节精度<10rpm，重复性< 10rpm
- 匀胶机工艺时间设定：0-999
- 匀胶机支持wafer尺寸1cm-200mm
- 匀胶机旋涂作业均匀性：< ±3% 在6英寸范围内（需要去除边缘3毫米区域测量）
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| 日期：2013/5/14 阅读：7488次 |
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