选件:   匀胶机旋涂仪可加装背后清洗(BSR)、去边装置(EBR),用于多功能显影。  匀胶机旋涂仪程控自动点胶装置(Auto Dispense 30-50ml,360ml,压力罐点胶1GL可选),产      品可加装喷嘴(5个),用于多功能匀胶。可编程的回吸系统(Programmable        Suckback System) 可以防止多余的胶从管嘴溢出。   匀胶机旋涂仪程控自动喷涂显影装置((Spray Develop、吹氮、去离子水)   匀胶机旋涂仪精确温度曲线控制   匀胶机旋涂仪惰性气体环境加热固化   匀胶机旋涂仪热板气动顶针等
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