匀胶机旋涂仪产品特点

1）匀胶机旋涂仪 台式匀胶机，涂膜厚度范围：100nm~100um；

2）匀胶机旋涂仪 可用于光刻胶(PR)，聚酰亚胺(Polyimide)，金属有机物(Metallo-organics)，搀杂剂(Dopant)，硅薄膜(Silica Film)，以及大多数的有机溶液、水溶液；

3）匀胶机旋涂仪 紧凑型设计，用户编辑、控制、存储、取出涂胶程序，易于操作；

4）匀胶机旋涂仪 提供±1rpm的高精度转速，加速及减速速率基于设定的时间/转速(Ramp Time/RPM value)自动计算；

5）匀胶机旋涂仪 配置7英寸触控屏及智能操作系统，可以实时监控整个匀胶过程，用户通过匀胶机前面板显示屏和按钮进行编辑、控制、存储、取出涂胶程序，并进行实验操作。