TX200-5 自动滴胶匀胶显影机Spin Processors 高精度自动滴胶匀胶机 旋涂仪 真空旋转涂层机
整合多项功能: 1 自动匀胶 2 显影 3 清洗 4 刻蚀 5 去胶 6 水烘烤 7 掺杂 产品简介:主要用于液体,胶体在材料表面薄膜的形成,适用于硅片,晶片,玻璃,陶瓷等制版表面涂覆工艺。可在科研,教育,生产中应用。 主要特点 TX200-5 自动滴胶匀胶显影机Spin Processors : 32位工业计算机芯片组控制。 7英寸触摸屏显示,设定,控制。 TX200-5 自动滴胶匀胶显影机Spin Processors 可设定存储25个不同样片的旋转涂敷工艺过程。 每个涂敷工艺过程可以设置100步不同的速度状态; 运行过程可以暂停,重复启动。 循环转移:最大次数:2的16次方= 65536次。
(用途:工艺过程重复部分的设定)
液晶显示屏可以实时显示 直观显示转速时间曲线。 第N个涂敷工艺过程 所处工作段 真空吸片状态。 设置时间;及实时运行时间。 设置速度;及实时速度状态。 中英文两套操作系统供选择。 人机交互式对话,简洁,明了。
安装有真空度传感器,涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度, 必须在安全的真空度下,电机启动,运行。保障可靠吸片,不飞片。 转速精度更高: 300 - 10000 转/分,转速稳定性:+ - 0.1 % 最高转速10000转/分 NPP材质工作腔,外表面洁净光亮。美观,方便清洗。
能精确滴定5种胶体或气体。(包括胶体,显影液,定型液,氮气) 工作腔直径200mm。可以旋涂最大基片直径150mm圆片 或 125mm*125mm方片 (图片)。可用丙酮擦拭。 NPP的化学稳定性优异,对大多数酸、碱、盐、氧化剂都显 惰 性。例如在100℃的浓磷酸、盐酸、40%硫酸及其它们的盐类溶液中都是稳定的。
TX200-5自动滴胶匀胶显影机Spin Processors :技术参数: 单相交流电源:220V.50Hz 电机功率:150W 旋转真空吸盘直径:4英寸(102mm,标准配置) 可选择配置: 基片直径10—150mm可接受订货。 转数:300 - 10000 转/分。 整个工艺过程是一条连续的曲线。可加减速度。可重复跳转工艺过程。 可精确滴定5种胶体,液体或是气体。 可设定时间:1---9999秒。 标准包装: 结构尺寸: 260mm宽 x 350mm深 x 260 mm高 , 可选配件 1、85升/分有油真空泵 2、特殊真空吸盘 3、滴胶筒,滴胶针头。
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62mm 吸盘
高性能匀胶机旋涂仪 可选购:直径10,20,25,50,75mm聚四氟乙烯吸盘。(现货人民币450元/个)
高性能匀胶机旋涂仪 碎片 微 小片 卡盘。(现货人民币580元/个)
高性能匀胶机旋涂仪 各种卡盘接受订货。因客户要求差异太大,无法备货。
吸盘卡盘滴胶机等全体附件
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TT-200匀胶机
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TB-616匀胶机
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TA-280匀胶机
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TC-218匀胶机
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