TA-280E 匀胶处理机
敞口容器,每次1-10ml 液体自动供料,用于膜的后处理工艺。
产品简介:(兼容2种功能)
1,匀胶机。与TA-280相同
2,胶膜的后处理工艺。 敞口容器,每次1-10ml 液体自动供料 。
三.技术参数 1.旋涂速度:300~10000 rpm 2.每段时间:1~99999 s 3.涂膜尺寸:晶圆尺寸:直径5--250mm; 方片:最小5X5mm 最大180X180