安装有真空度传感器,涂敷工作过程电脑实时检测系统真空度,
必须在安全的真空度下,电机启动,运行。保障可靠吸片,不飞片。
300 - 10000 转/分,转速稳定性:+ - 0.1 %
最高转速10000转/分
NPP材质工作腔,外表面洁净光亮。美观,方便清洗。
SDN303匀胶显影机spin processors 湿站系统 Developing
能精确滴定3种胶体或气体。(包括胶体,显影液,定型液,氮气)
工作腔直径315mm。可以旋涂最大基片直径250mm圆片或 200mm*200mm方片 。
(图片)。可用丙酮擦拭。
NPP的化学稳定性优异,对大多数酸、碱、盐、氧化剂都显 惰 性。例如在100℃的浓磷酸、盐酸、40%硫酸及其它们的盐类溶液中都是稳定的。
SDN303匀胶显影机spin processors 湿站系统 Developing :
技术参数:
单相交流电源:220V.50Hz
电机功率:150W
旋转真空吸盘直径:4英寸(102mm,标准配置)
可选择配置: 基片直径10—280mm可接受订货。
转数:300 - 10000 转/分。
整个工艺过程是一条连续的曲线。可加减速度。可重复跳转工艺过程。
可精确滴定3种胶体,液体或是气体。
1 自动匀胶
2 显影药剂
3 DI水
4 氮气 5 流量可以控制 (2,3,4)
6 时间精度 千分之一秒。
可设定时间:1---9999秒。
可选配件
1、85升/分有油真空泵
2、特殊真空吸盘
3、滴胶筒,滴胶针头
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